线切割机按走丝速度可分为高速往复走丝电火花线切割机（俗称“快走丝”）、低速单向走丝电火花线切割机（俗称“慢走丝”）和立式自旋转电火花线切割机三类。又可按工作台形式分成单立柱十字工作台型和双立柱型（俗称龙门型）。

　　线切割机的电火花线切割同内圆切割技术相比有其明显的弱点：

　　一是片厚平均误差较大；

　　二是切割过程中智能检测控制不易实现；

　　三是切割过程的成功率要求较高、风险大，一但断丝而不可挽救时，直接浪费一根单晶棒；

　　四是不能实现单片质量控制，一次切割完成后，才能检测一批圆片的切割质量，并且圆片之间切割质量也不相同。

　　对于以上不足，内圆切割技术的一些改进具体表现在：

　　1.自动、单片方式切换操作方便性。

　　2.小批量多规格加工时灵活的加工可调性。

　　3.切片精度高，切片成本低，同规格级的内圆切片机价格为线切割机价格1/3-1/4，线切割机还需配置粘料机，每片都可调整。

　　4.低成本的辅料(线切割机磨料及磨料液要定时更换)。

　　5.不同片厚所需较小的调整时间，不同棒径所需较小的调整时间。

　　6.修刀、装刀方便。随着硅晶片大片径化发展，线切割技术是硅片切割的主流技术，在规模化晶圆片切割中将取代内圆切割技术。因此人们加大了对200mm以上线切割机的研究，以解决其技术不足。