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中航长风陪您聊聊线切割机的“内圆切割技术”
  • 发布日期:2019-12-10      浏览次数:925
    •    中航长风陪您聊聊线切割机的“内圆切割技术”
        线切割机按走丝速度可分为高速往复走丝电火花线切割机(俗称“快走丝”)、低速单向走丝电火花线切割机(俗称“慢走丝”)和立式自旋转电火花线切割机三类。又可按工作台形式分成单立柱十字工作台型和双立柱型(俗称龙门型)。
        线切割机的电火花线切割同内圆切割技术相比有其明显的弱点:
        一是片厚平均误差较大;
        二是切割过程中智能检测控制不易实现;
        三是切割过程的成功率要求较高、风险大,一但断丝而不可挽救时,直接浪费一根单晶棒;
        四是不能实现单片质量控制,一次切割完成后,才能检测一批圆片的切割质量,并且圆片之间切割质量也不相同。
        对于以上不足,内圆切割技术的一些改进具体表现在:
        1.自动、单片方式切换操作方便性。
        2.小批量多规格加工时灵活的加工可调性。
        3.切片精度高,切片成本低,同规格级的内圆切片机价格为线切割机价格1/3-1/4,线切割机还需配置专用粘料机,每片都可调整。
        4.低成本的辅料(线切割机磨料及磨料液要定时更换)。
        5.不同片厚所需较小的调整时间,不同棒径所需较小的调整时间。
        6.修刀、装刀方便。随着硅晶片大片径化发展,线切割技术是硅片切割的主流技术,在规模化晶圆片切割中将取代内圆切割技术。因此人们加大了对200mm以上线切割机的研究,以解决其技术不足。
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