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线切割机控制系统的关键技术是什么
  • 发布日期:2022-12-05      浏览次数:102
    •    线切割机用于减速器关键零组件的切割加工,具备长期稳定的高精度加工性能,可使减速器的关键零组件在淬火后的半精加工后余量控制在微米级,大幅提高了末段工艺设备的产能,进而有助于降低减速器在量产过程中对部分国外进口机床的被动依赖。
        是通过缠绕在主轴上的金刚线高速往复运动,将半导体等硬脆材料同时切割为数百片薄片的切割加工方法。已逐渐取代了内圆切割,成为半导体磁材、硅片、宝石等切割加工的主要方式,有高精度、高速度、低损耗等优点。
        控制系统中张力控制、收放线电机和主电机的同步运行是控制的关键技术。一般多线切割机都配备有主轴电机、收线电机、收线排线电机、收线张力电机、放线电机、放线排线电机、放线张力电机、工作台升降电机等,早期的控制系统一般都是采用台达的DVP10MC11T,它是基于现场总线的多轴控制器,它遵循基本通讯协议和DSP402运动控制协议,支持大部分运动控制标准指令库。
        特点:
        (1)hct-b6多线切割设备集成了化学、物理、机械、电气等方面技术。
        (2)拥有高精度4轴排线导轮驱动装置技术。增大了切割能力。
        (3)切割进给伺服系统。配合线丝张力自动控制系统的作用,保证在不断丝条件下实现切割的高效性。
        (4)使用浆料回收系统,浆料可直接从浆料缸取出回收利用。节省了大部分的浆料成本。
        (5)片厚平均厚度误差小,适合大规模制造。
        在切割时,主轴电机先正转一段距离(设为A米),然后再反转一段距离(设为B米),根据实际情况,0.5M<A-B<1.5M,保证在多次往复运动中,将新的切割线逐渐放出,已使用的切割线逐渐收回。在主轴运行的同时,收放线电机要保持与主轴电机的线速度同步。由于在运行中,收放线轮的直径会一直变化,如果不调整收放线电机的旋转速度,主轴上的线速度和收放线轮上的线速度偏差会越来越大,将会拉断切割线,此时,需要要根据张力轮的位置,去实时调整收放线电机的旋转速度,这是整个控制系统中最为关键的地方。
        线切割机晶片的弯曲度(bow)小,翘曲度(Warp)小,平行度(Tarp)好。总厚度公差小(TTV)小,片间切割损耗少,加工晶片表面损伤层浅,粗糙度小,切片加工出片率高,生产效率高,投资回报吕高。
        因此,应用线切割机是发展规模化生产和提高生产效率的必然选择,使用多线切割机加工各类晶片是必然趋势,特别适用于太阳能光伏电池超薄机基片的批量加工。
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